Вторично-электронная эмиссия — это эмиссия, при которой дополнительная энергия эмиттируемым (вторичным) электронам сообщается первичными электронами, бомбардирующими поверхность вещества. Первичные электроны можно получить с помощью любого вида электронной эмиссии (например, термоэлектронной), а необходимая кинетическая энергия сообщается им в ускоряющем электрическом поле (рис. 1-17).

(рис.1-17) Вторичная электронная эмиссия.

(рис.1-18) Зависимость коэффициента вторичной электронной эмиссии от энергии первичных электронов.

Усредненное число вторичных электронов, приходящихся на один первичный электрон, является мерой этого вида эмиссии и называется коэффициентом вторично-электронной эмиссии

σ = n₂/n₁ = I₂/I₁, (1-27)

где n₁ и n₂ — усредненное во времени количество первичных и вторичных электронов; I₁ — ток первичных электронов; I₂ — ток вторично-электронной эмиссии.

1 2 3